熔炼坩埚在多晶硅浇铸过程中起着十分重要的作用，尤其是凝固阶段。在同一个坩埚内完成硅晶片熔化和铁水凝固的过程。因此，硅片在很长一段时间内与坩埚材料保持接触。该容器由石英玻璃构成，必须承受很高的热度，同时铁水不能粘在坩埚的边缘上——否则的话在铁水凝固过程中，坩埚和铸模都有可能爆裂。 为了防止这一情况的发生，通常情况下，坩埚在使用前会涂上一层氮化硅。目前，这一步骤都有铸模生产商自行解决，但有出错的风险，导致前功尽弃。
为了替铸模生产商扫除这些障碍，美国Ceradyne公司今年2月在亚特兰大开设新工厂,专门生产已上涂层的坩埚。这样就提高了涂层的准确度。该厂最初计划是每月生产1500个坩埚。此外，Ceradyne产品经理Scott Higgenbottom表示，该公司中国分部预计在今年年底也将开辟涂层坩埚生产这块业务。 |
